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岱美儀器:以多元技術(shù)構(gòu)建薄膜厚度測量新范式
2025-10-11

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域,薄膜厚度的精準(zhǔn)控制直接決定產(chǎn)品性能。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司憑借二十余年技術(shù)積淀,構(gòu)建起覆蓋機械接觸、光學(xué)干涉、光譜反射三大技術(shù)路徑的薄膜厚度測量體系,為行業(yè)提供從實驗室研發(fā)到生產(chǎn)線...

  • 2023-02-20

    一、簡介第四次工業(yè)革命以數(shù)年前尚不存在的技術(shù)席卷了我們的生活,其中一些在幾十年前甚至無法想象。自動駕駛汽車已經(jīng)在公共街道上進行測試;無人機正在調(diào)查地形,拍攝視頻,派發(fā)包裹;由專業(yè)人士和業(yè)余愛好者創(chuàng)建的大量視頻內(nèi)容正在被拍攝和發(fā)布;固定和移動監(jiān)視變得司空見慣;服務(wù)器的體量變得驚人的龐大,4G網(wǎng)絡(luò)正在被5G補充或替代。所有這些趨勢的共同之處在于,它們生成的大量數(shù)據(jù)必須比以往任何時候更快、更可靠地進行處理、傳輸和存儲。上述這些新應(yīng)用中,許多將需要高級邏輯器件來實現(xiàn)更高的功耗和處理速...

  • 2023-02-17

    納米壓印光刻系統(tǒng)制造商SwissLithoAG今天宣布一種聯(lián)合解決方案,可以生產(chǎn)最小到單納米級的3D結(jié)構(gòu)。該方案最初在由歐盟第七框架計劃資助的“超越CMOS器件的單納米制造(SNM)”項目中得到證明,該方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor熱掃描探針光刻系統(tǒng),以生產(chǎn)具有3D結(jié)構(gòu)的主模板用于納米壓印光刻系統(tǒng)和EVG。目標(biāo)應(yīng)用:EVG和SwissLitho最初將以聯(lián)合解決方案為目標(biāo),以開發(fā)衍射光學(xué)元件和其他相關(guān)光學(xué)組件,以支持光子學(xué),數(shù)據(jù)通信,增強/虛擬現(xiàn)實和其他...

  • 2023-02-16

    光刻技術(shù)是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法。可以通過以下兩種基本方法來實現(xiàn)圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。設(shè)定的圖案可以幫助生成襯底上的特征,或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設(shè)計(CAD)定義圖案模式。多數(shù)情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理壓?。ú恍枰刮g劑,也叫納米壓?。﹣矶x圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到一個基板,再進行蝕刻,電鍍或剝離。1.技術(shù)領(lǐng)域根據(jù)所需的特征,有幾種不...

  • 2023-02-15

    Microsense電容式位移傳感器提供高穩(wěn)定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測量方案,用于測量硬盤驅(qū)動馬達,氣動軸承轉(zhuǎn)子,X-Y樣品臺準(zhǔn)確度,光盤,汽車零部件和機床等測量。它的用途廣泛:金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度和平坦度測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量,精密儀器工作平臺定位,設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備、原子力顯微鏡、光罩探測、圖像確認(rèn)、LCD生產(chǎn)設(shè)備…)它的安裝難度:它是易于安裝的Microsense電容式位移傳感器。MicroSense的電容式位移傳感器使用單個傳感...

  • 2023-02-14

    光學(xué)膜厚儀的薄膜光譜反射系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及nk,采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺,可以在幾秒鐘的時間內(nèi)快速的定位所需測試的點并測試厚度,可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、或方形、或線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。針對不同的晶圓尺寸,盒對盒系統(tǒng)可以很容易的自動轉(zhuǎn)換,匹配當(dāng)前盒子的尺寸。49點的分布圖測量只需耗時約45秒。用激光粒度分布儀測試膠體的粒度分布時應(yīng)配合其它檢測手段驗證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性,同時應(yīng)使用去離子水作為分散介質(zhì),防止自來水中的電解質(zhì)造成顆粒團聚影響...

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