當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域，薄膜厚度的精準(zhǔn)控制直接決定產(chǎn)品性能。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司憑借二十余年技術(shù)積淀，構(gòu)建起覆蓋機(jī)械接觸、光學(xué)干涉、光譜反射三大技術(shù)路徑的薄膜厚度測量體系，為行業(yè)提供從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到生產(chǎn)線...
一、特點(diǎn)固有振動頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動運(yùn)動中消除能量、以減輕振動的特點(diǎn)。固有振動頻率與地基振動的振動頻率比（f/fn）稱作振動傳遞率，是判定隔振效果的標(biāo)準(zhǔn)。固有振動頻率愈小、地基振動頻率愈大，隔振臺的隔振效率愈高。也就是說，振動傳遞率愈低，隔振效果愈佳。振動頻率比(f/fn)低于1.414時為增幅，數(shù)值為1時固有振動頻率與地基振動頻率相同，高于1.414則實(shí)現(xiàn)隔振。隔振臺一般分為線圈彈簧(CoilSpring)和空氣彈簧(AirSpring)兩種，線圈彈...
HERZ是聞名的隔振臺系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時代，極之微細(xì)的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的最佳效能，達(dá)到最佳成果。從高層次的研究乃至各個行業(yè)的基本生產(chǎn)，要想有效地發(fā)展納米技術(shù)，消除振動尤為重要！在過去的40年里，HERZ已發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的主流供應(yīng)商，在該領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗(yàn)。與此同時，測量技術(shù)有了很大進(jìn)步，一些靈敏的設(shè)備會受到被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾，此類干擾唯有主動式隔振系統(tǒng)能夠消除。因此，HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)...
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續(xù)縮小，對化學(xué)機(jī)械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料，可作化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)磨料，應(yīng)用十分廣泛。因其優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和對具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性，Y2O3被用在許多特殊材料上，例如絕緣體、玻璃、導(dǎo)...
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程，可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺，集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械模塊，用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括（但不限于）微圖案表面、粗糙表面等。該機(jī)型光學(xué)模塊功能強(qiáng)大，可測量的光...
掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)是將二維圖案轉(zhuǎn)印到平坦基板上的方法?？梢酝ㄟ^以下兩種基本方法之一實(shí)現(xiàn)圖案化：直接寫入圖案，或通過掩模版/印章轉(zhuǎn)移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征（例如蝕刻），或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機(jī)輔助設(shè)計（CAD）定義圖案模式。多數(shù)情況下，這些特征是使用抗蝕劑形成的，可以使用光（使用光致抗蝕劑），電子束（使用電子束抗蝕劑）或通過物理沖壓（不需要抗蝕劑，也叫納米壓印）來定義圖案特征。圖案的特征可以被轉(zhuǎn)移到另一個層蝕刻，電鍍或剝離。掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域...